短波长辐射源，如同步加速器或自由电子激光器，已经使许多应用成为可能，并将促进更多的开创性研究。另一方面，通过超短脉冲激光的高次谐波产生（HHG）的相干极紫外到软X射线辐射源在过去几年中获得了极大的关注，因为它们具有巨大的潜力，可以以成本效益和桌面形式解决过多的应用。因此，它们是大型设施的补充来源。通过光纤激光器驱动的高次谐波光源获得的光子通量值可以被认为是光子能量在20 eV–150 eV之间的所有激光系统中较高的。使用基于TM的驱动激光器，甚至更高的光子能量达到软X射线范围也是可行的。AFS超快光纤激光器是理想的高次谐波驱动器。这些交钥匙高次谐波光束线可以解决EUV到X射线光谱区的多种应用。