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5轴真空兼容平台
Altos Photonics, Inc.
这款5轴真空兼容电动载物台是新一代精密级载物台,可用于真空定位应用。有关演示,请参见Sanda' s视频
参数
  • Number Of Axes: Five
  • Vacuum Grade: 10^-6mbar
应用

暂无应用说明

关键指标
  • 系统包括真空兼容:
  • -两个旋转阶段-8MR190V-2-VSS42
  • -两个平移平台-8MT167V-25LS-VSS42
  • -垂直平移台-8MVT120V-25-VSS43
  • -光学支架-4OCMV-75
  • -支架和适配器