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5轴真空兼容平台
Altos Photonics, Inc.
分类:
定制真空兼容台
这款5轴真空兼容电动载物台是新一代精密级载物台,可用于真空定位应用。有关演示,请参见Sanda' s视频
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参数
Number Of Axes: Five
Vacuum Grade: 10^-6mbar
应用
暂无应用说明
关键指标
系统包括真空兼容:
-两个旋转阶段-8MR190V-2-VSS42
-两个平移平台-8MT167V-25LS-VSS42
-垂直平移台-8MVT120V-25-VSS43
-光学支架-4OCMV-75
-支架和适配器
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