在X射线中可视化和测量光束的目标具有新的重要性。Star Tech Instruments开发了新的系统来分析这些光束的功率/能量、均匀性、高分辨率光束轮廓和图像分析。型号µBIP10X是一款真空兼容（1x10-10 Torr）光束轮廓仪和光束成像系统，设计用于1-10 nm的高分辨率。该系统适用于200nm。10倍MAG。1.5 mm的场具有0.6µm的分辨率，并且对非常低的能级敏感。该系统设计用于1.3 X 1.3传感器，但可以针对其他相机格式进行修改。可根据要求提供不同的放大倍率和相机。μBIP系列是STI较新的成像系统，专为使用软X射线而设计-#91；1-2 nm-#93；不应将其用于准分子激光器的较长波长，如193nm或248nm，这将导致严重的内部损伤。较重要的是，该系统设计用于高真空室，使用我们的定制真空法兰组件将光学系统连接到真空室。法兰的额定压力为10-8托。