eSource Optics宽带VUV至UV光学分束器（BBVUVB）是金属VUV至UV宽带分束器光学涂层，设计用于在170nm至300nm VUV-UV波长范围内提供40%至50%的平均反射率和透射率（45度入射角（Aoi）无偏振）。eSource Optics宽带VUV到UV光学分束器（BBVUVB）可提供标准25.4mm和50.8mm直径。其他尺寸可根据要求提供。eSource Optics宽带VUV到UV光学分束器（BBUVB）是金属-电介质-金属（MDM）设计的薄膜涂层，作为未安装和开面VUV-UV分束器提供。开面宽带真空紫外到紫外光学分束器（BBUVB）是使用高纯度紫外级熔融石英衬底制造的，用于真空紫外到紫外波长170nm到300nm。所有VUV至UV光学分束器（BBVUVBS）基板均高度抛光至A=40-20划痕表面质量，平行度小于5弧分。