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ContourX-500三维光学轮廓仪
ContourX-500光学轮廓仪是世界上较全面的自动化台式系统,用于快速、非接触式3D表面计量。可测量的ContourX-500拥有无与伦比的Z轴分辨率和精度,并以更小的尺寸提供布鲁克白光干涉(WLI)落地式模型的所有行业公认的优势。从精密加工表面和半导体工艺的质量保证/质量控制(QA/QC)计量到眼科和MEMS器件的研发表征,Profiler可针对较广泛的复杂应用轻松定制。
参数
  • Light Source Type: CW LED, Modulated LED
  • Light Source Wavelength: --nm
  • Sample Reflectivity: 0.05 - 100 %
  • Vertical Range: 10000000nm
  • RMS Repeatability: <0.01 nm
  • RMS Precision: <0.01 nm
应用

暂无应用说明

关键指标
  • 行业最佳Z分辨率,与放大倍数无关
  • 高级自动化配置有编码XY载物台、自动倾斜/倾斜云台和自动强度