可变形的镜子 2K-3.5
Boston Micromachines Corporation
分类：变形镜
可变形反射镜的+K-DM系列：天文学和激光通信中下一代应用的高空间分辨率波前校正器。波士顿微机械公司（Boston MicroMachines Corporation）在高致动器数量MEMS变形镜技术方面处于行业领先地位。这些镜子被部署在世界各地著名的天文设施中，以提高波前校正能力，使高端科学成为可能。4K-DM变形镜目前安装在双子行星成像仪上，我们的3K-DM包含在多个空间望远镜概念的设计中。较后，2K‐DM目前作为启用组件安装在斯巴鲁日冕仪极端自适应光学（SCEXAO）仪器中，并已多次在天空中使用。
参数
- Number Of Actuators: 2048
- Wavefront Tip-Tilt Stroke (PtV): 3.5um
- Actuator Pitch: 400um
- Pupil Size (Clear Aperture): 20mm
- Surface Quality (RMS): 30nm
- Mechanical Response (10%-90%): 100us
- Reflective Coating Material: Gold, Aluminum, Protected Silver
- Frame Rate: 20 kHz
- Driver Step Resolution: 14 bit
- Driver IO Interface: SFP fiber link 2.5 Gbps
- Approximate Interactuator Coupling: 15% +/- 5%
- Dimensions: 5.25” x 19’ x 14’ (3U Chassis)
应用
- +K-DM系列可变形反射镜：下一代天文学和激光通信应用的高空间分辨率波前校正器。
关键指标
- MEMS可变形反射镜是许多自适应光学应用中最常用的结构，因为它们具有多功能性、技术成熟性和亚纳米步长的高分辨率波前校正能力。使用先进、廉价的制造技术，MEMS DMS的性能优势是微加工所固有的：
- 1.大型阵列产生高分辨率波前校正。
- 先进的微结构允许相邻致动器之间对高空间频率表面的影响最小
- 3.优化设计可实现高速应用的快速波前整形。