可变形的镜子492-DM
Boston Micromachines Corporation
分类：变形镜
492-DM变形镜：天文学和成像应用的高性能波前校正器492-DM是一款能够实现精确、高速、高分辨率波前控制的器件。该系统具有492个致动器，控制精度低于1 nm且无滞后现象，是天文学和下一代成像中要求苛刻的应用的理想选择。高速电子驱动器具有60 kHz帧速率和14位步进分辨率。作为流行的Kilo-DM变形镜的替代品，492-DM可以以较低的成本使用，并具有强大的效果。
参数
- Number Of Actuators: 492
- Wavefront Tip-Tilt Stroke (PtV): 1.5um
- Actuator Pitch: 300um
- Pupil Size (Clear Aperture): 6.9mm
- Surface Quality (RMS): 30nm
- Mechanical Response (10%-90%): 22us
- Reflective Coating Material: Gold, Aluminum, Protected Silver
应用
- -成像
- -显微镜
- -天文学
- -激光光学
关键指标
- 由于MEMS可变形反射镜（DM）的多功能性、技术成熟性和高分辨率波前校正能力，目前在许多自适应光学应用中最常用。使用先进、廉价的制造技术，MEMS DMS的性能优势是微加工所固有的：
- 大型致动器阵列产生高分辨率波前校正。
- 先进的微结构允许相邻致动器之间对高空间频率表面的影响最小
- 3.优化设计可实现高速应用的快速波前整形。