DPT-E20闭环推杆
较佳纳米定位的精度、准确度和速度。DPT-E系列致动器采用电容反馈控制设计,以提供精确定位。DPT-E执行机构是较苛刻应用的理想选择。执行机构能够在其整个行程范围内移动高达60 kg的负载。低电子噪声和高线性度,确保致动器精确、快速和准确地定位。超级不胀钢结构提供了高的热稳定性,并提供了优越的位置稳定性。DPT-E是高压DPT-C系列执行器的低压替代品。尺寸与DPT-C系列相同,行程范围至少增加了25%,动态性能也得到了增强。
参数
- Microstep Size (default Resolution): 0.00009um
- Built-in Controller: Yes
- Travel Range: 0.026mm
- Accuracy (unidirectional): --um
- Backlash: Not Specified
- Maximum Speed: --mm/s
- Minimum Speed: --mm/s
- Axes Of Motion: Three
应用
- 干涉测量法
- 光束对准
- 掩模晶片卡盘对准
- 空腔调谐
- 计量学
关键指标
- 预载超殷钢结构
- 电容传感器反馈控制
- 高阻挡力
- 即插即用互换性
- 无摩擦定位,提供亚纳米可重复性
- UHV、辐射硬/低温非磁性和高温变体