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DPT-E20闭环推杆
美国
较佳纳米定位的精度、准确度和速度。DPT-E系列致动器采用电容反馈控制设计,以提供精确定位。DPT-E执行机构是较苛刻应用的理想选择。执行机构能够在其整个行程范围内移动高达60 kg的负载。低电子噪声和高线性度,确保致动器精确、快速和准确地定位。超级不胀钢结构提供了高的热稳定性,并提供了优越的位置稳定性。DPT-E是高压DPT-C系列执行器的低压替代品。尺寸与DPT-C系列相同,行程范围至少增加了25%,动态性能也得到了增强。
参数
  • Microstep Size (default Resolution): 0.00009um
  • Built-in Controller: Yes
  • Travel Range: 0.026mm
  • Accuracy (unidirectional): --um
  • Backlash: Not Specified
  • Maximum Speed: --mm/s
  • Minimum Speed: --mm/s
  • Axes Of Motion: Three
应用
  • 干涉测量法
  • 光束对准
  • 掩模晶片卡盘对准
  • 空腔调谐
  • 计量学
关键指标
  • 预载超殷钢结构
  • 电容传感器反馈控制
  • 高阻挡力
  • 即插即用互换性
  • 无摩擦定位,提供亚纳米可重复性
  • UHV、辐射硬/低温非磁性和高温变体