G20K 2 kHz KrF准分子激光器
G20K具有高能量稳定性（±0.4%）和0.6 pm或更小的窄光谱带宽（FWHM），允许在高分辨率下曝光0.18µm几何结构。
参数
- Gas Mixture: KrF
- Wavelength: 248 nm
- Pulse Energy: 10mJ
- Average Power: 20W
- Max Repetition Rate: 2000Hz
- Pulse Duration: N/Ans
应用
暂无应用说明
关键指标
- 重复率从1000 Hz（G10K）增加到2000 Hz，以实现更高的吞吐量。
- 激光发射稳定性和模块耐用性的极大增强允许进一步降低COO（每脉冲运行成本）。
- 尺寸紧凑，与G10K相比，占地面积减少了14%。
- 新设计的固态脉冲电源可使功耗降低20%。