KrF准分子激光器 G21K | 用于0.13µm设计规则，Pulse Energy 10mJ，Average Power 20W

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G21K 2 kHz KrF准分子激光器

厂商: Gigaphoton Inc.

日本

分类：准分子

用于0.13µm设计规则的2 kHz KrF准分子激光器

参数

Gas Mixture: KrF
Wavelength: 248 nm
Pulse Energy: 10mJ
Average Power: 20W
Max Repetition Rate: 2000Hz
Pulse Duration: N/Ans

应用

暂无应用说明

关键指标

进一步增强G20K经现场验证的能量稳定性
0.5 pm（FWHM）的超窄带宽是通过改进线窄化模块实现的，以允许0.13µm几何图形的曝光