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G41A 4-kHz ArF准分子激光器
日本
分类：准分子
4-kHz ARF准分子激光器，设计规则高达0.10µm
参数
  • Gas Mixture: ArF
  • Wavelength: 193 nm
  • Pulse Energy: 5mJ
  • Average Power: 20W
  • Max Repetition Rate: 4000Hz
  • Pulse Duration: N/Ans
应用

暂无应用说明

关键指标
  • 安装了新设计的固态脉冲电源，其重复率可达4000 Hz，以实现高吞吐量
  • 高可靠性设计继承了我们经过现场验证的KrF准分子激光器G10K/20K系列