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G41K-1H KrF 4 kHz准分子激光器
日本
分类:准分子
作为第二代4-kHz准分子激光器G41K的升级版本,G41K-1H在G41K平台上安装了磁悬浮激光腔和高效缩线和监控模块作为标准功能,以实现40 W的高输出,比其他任何产品都高出一个等级。G41K-1H将每个光学模块的寿命延长到300亿个脉冲(比G41K长50%)。通过更换模块,G41K可在现场升级为G41K-1H。
参数
  • Gas Mixture: KrF
  • Wavelength: 248 nm
  • Pulse Energy: 10mJ
  • Average Power: 40W
  • Max Repetition Rate: 4000Hz
  • Pulse Duration: N/Ans
应用

暂无应用说明

关键指标
  • 通过进一步提高G41K的发射效率,实现40 W/超低CoO的更高输出
  • 与常规寿命相比,使用TGM软件可额外延长100%的气体寿命
  • 经现场运行的数百台激光器证明,可靠性更高