参数
- Gas Mixture: ArF
- Wavelength: 193 nm
- Pulse Energy: 5mJ
- Average Power: 20W
- Max Repetition Rate: 4000Hz
- Pulse Duration: N/Ans
应用
暂无应用说明
关键指标
- 光谱带宽（FWHM）从0.35 pm（G41A）提高到0.3 pm，以允许曝光基于G41A的80-nm几何结构
- 每个模块都使用高度耐用的部件，以延长光学模块的使用寿命，并进一步降低成本
- 激光室：使用高度耐用的电极部件
- 窄线模块、监视器模块等：光学器件使用高度耐用的材料