GT40A 4-kHz ArF准分子激光器
型号GT40A使用注入锁定谐振器(世界上先进个)作为光刻工具光源,以允许同时保持更窄的光谱带宽和更高的输出,这是传统技术难以实现的组合。此外,它提供了较低的峰值脉冲能量,减少了对光刻工具光学器件的损坏,从而实现了行业中较低的运行成本。型号GT40A还配备了新开发的高级自诊断功能,并大大提高了其可维护性,例如易于更换模块,以实现更高的可靠性和更长的正常运行时间。
参数
- Gas Mixture: ArF
- Wavelength: 193 nm
- Pulse Energy: 11.25mJ
- Average Power: 45W
- Max Repetition Rate: 4000Hz
- Pulse Duration: N/Ans
应用
暂无应用说明
关键指标
- 注入锁定激光器:GT40A是业界首款使用注入锁定技术的量产型号*。这确保了DUV光束的高度稳定发射,输出功率高达45 W,FWHM的光谱带宽为0.2皮米(pm),E95的光谱带宽为0.5皮米,这是业界最高的带宽水平。它还提供了较低的峰值脉冲能量,这减少了对光刻工具光学器件的损坏。
- 注入锁定技术将调谐到极窄光谱带宽后发射的低输出激光束(MASTER)注入到激光谐振腔(放大器)中,通过激光谐振将其放大。该技术允许同时保持较窄的光谱带宽和较高的输出,这是传统技术难以实现的组合
- 业界最低的运行成本:注入锁定技术可大大降低激光光学器件的负载。此外,系统配置经过优化,大大减少了耗材(模块)的数量及其更换频率。因此,GT40A可以实现业界最低的运行成本。
- 高度可靠/可操作的设计:通过引入新开发的自诊断功能以及在模块更换和可维护性方面的巨大改进,实现了半导体工厂所必需的高可靠性和高正常运行时间。