单轴线性定位平台NANOX 200是在超快NANOX®系列中开发的。由于FEA优化，即使在高负载下，这些级也能实现较高的动态性能和出色的导向精度。NanoX 200系列的定位平台具有温度补偿功能，在改变环境温度时，平台可保持其位置。