HS1.10 纳米定位器
HS1是一种紧凑型纳米定位器，可组合形成2轴甚至3轴纳米定位系统。它可提供10、30、50、70或100µm的运动范围，也可提供光圈（见HS1H）。该纳米定位器是我们高速产品线的一部分（提供高功率控制器）。
参数
- Type Of Base Positioner: Multi-Axis Tilt Base
应用
- 干涉测量法
- 纳米光刻
- 3D聚合
- 高速对焦
- 自适应光学
关键指标
- 高速直接驱动
- 设计紧凑
- 可堆叠用于XY或XYZ运动
- 10、30、50、70或100µm运动
- 闭环控制
- 硅传感器技术
- 低于晚上10点的噪音底限