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HS1.30 光圈纳米定位器
法国
HS1H是一种紧凑型纳米定位器,可组合形成2轴甚至3轴纳米定位系统。它具有10、30、50、70或100µm的运动范围,中心孔径为33 mm,是光学显微镜应用的理想选择。由于采用直接驱动结构,它具有特别快的阶跃响应时间。该纳米定位器是我们高速产品线的一部分(提供高功率控制器)。
参数
  • Type Of Base Positioner: Multi-Axis Tilt Base
应用
  • 干涉测量法
  • 纳米光刻
  • 3D聚合
  • 高速对焦
  • 自适应光学
关键指标
  • 高速直接驱动
  • 设计紧凑
  • 可堆叠用于XY或XYZ运动
  • 圆形孔径:ø33mm
  • 10、30、50、70或100µm运动
  • 闭环控制
  • 硅传感器技术
  • 低于晚上10点的噪音底限