microPREP基于激光的高通量微诊断样品制备
3D-Micromac公司的MicroPrepTM是先进台能够实现快速、清洁和高效激光烧蚀的仪器，可用于制备用于微结构诊断和失效分析的样品。MicroPrep™提供了使用超短脉冲激光进行微加工的关键优势，特别是低结构损伤、高功率密度和微米级的目标精度。因此，MicroPrep™适用于半导体、金属、陶瓷以及化合物的激光切割和局部激光减薄。
参数
- Wavelength: 1070nm
- Working Distance: --mm
- Spatial Resolution: --um
- Processing Area: > 50 mm^2
- Max Peak Power: --kW
- Max Processing Linear Speed: --mm/sec
应用
- 半导体、金属、陶瓷和化合物的快速样品制备
- ±0.005mm高精度制靶
- 样本轨迹标记（DMC、二维码、纯文本等）
- 增加FIB和宽离子束工具的工作流程吞吐量
- TEM、X-SEM和微机械测试
关键指标
- 更短的采样时间：比FIB快10，000倍
- 分析采用的样品几何形状
- 将样品损失风险降至最低
- 用于样品几何形状和材料的配方驱动GUI
- 降低光纤容量要求
- 提高现有（TEM）分析工具的效率
- 根据要求定制配方和固定装置
- 满足SEMI S2/S8的基本要求