多轴镜定位系统PSH 1-4
PSH 1至PSH 4系列基于压电直接驱动系统。这些系统的构造类似于三脚架配置。PSH 1至PSH 4系统可同时控制所有三个执行器。可实现33µm范围内的Z轴活塞运动。有两种不同的托板尺寸可供选择。“A”型的尺寸为25 X 25mm²。顶板类型“B”,提供38 X 38mm²,主要设计用于1½"镜子。作为选项,集成反馈传感器在闭环控制下提供绝对、可重复的位置测量。
参数
- Motion Distance: 8um
- Resolution: 0.002nm
应用
- 激光调谐
- 激光束稳定
- 镜子、其他光学元件的微调
- 光纤光栅技术
- 光束对准
关键指标
- 快速三致动器倾斜/倾斜平台
- 支持镜子,其他组件
- 倾斜角高达4 mrad
- kHz谐振频率
- 亚微拉德分辨率
- 反馈传感器可用