OWI 150 XT球体和非球体入侵干涉仪
高精度Fizeau Workshop干涉仪OWI 150 XT INVERS，用于测试球面和非球面表面。高精度运动学和高达Ø150 mm的工作范围使这台测量机成为生产高端光学产品不可或缺的工具。
参数
- Interferometer Configuration: Not Specified
- Light Source: Not Specified
- Output Polarization: Not Specified
- RMS Repeatability: Not Specified
- RMS Precision: Not Specified
应用
暂无应用说明
关键指标
- 高精度Fizeau Workshop干涉仪OWI 150 XT INVERS，用于测试球面和非球面表面。
- 高精度运动学和高达Ø150 mm的工作范围使这台测量机成为生产高端光学产品不可或缺的工具。
- 针对生产级别的使用进行了优化
- 测量支架由减震花岗岩制成，具有最高的精度和刚度
- 安装在稳定的钢基架上的被动空气阻尼元件上
- 半径滑块，带有无间隙预加载减摩轴承，由伺服电机驱动，通过操纵杆变速，行程1050 mm
- 3轴工作台（选件上提供5轴工作台）
- 用于半径绝对测量精度的总行程测量精度为5μm的海德汉玻璃标尺，安装在光轴附近的标尺（阿贝原理）
- 创新、服务友好的安装方式，适合当前类型的干涉仪（Mahr Maropto FI 1100 Z，Zygo GPI/Verifire 4英寸和6英寸，ÄPRE S100/150 HR）