P 8/8 叠加式执行器,无机械预载
P系列致动器基于多层技术制成的堆叠式致动器。它们没有机械预载,但仍然可以承受中等压力。它们只能在静态应用程序中使用。压电堆封装在不锈钢外壳中,顶部和底部为环氧树脂,以消除机械间隙。为了保护陶瓷多层致动器,它们填充有柔性硅橡胶材料。多层堆叠致动器提供亚毫秒响应和亚纳米分辨率。
参数
- Motion Distance: 9um
- Resolution: 0.02nm
应用
- 微定位
- 后视镜调节
- 扫描显微镜检查
- 阀门控制
- 激光调谐
- 半导体
关键指标
- 无预载
- 高达82µm的运动(可提供更大的运动)
- 刚度高达210 N/µm