压电式定位器PXY 100
PXY 100系列系统非常适用于光学元件(如反射镜和激光二极管)的纳米精度定位、半导体技术和电子设备的调整和安装,以及测量技术和质量保证以及微生物学的应用。PXY 100系列由舞台设计的压电致动器组成,配有坚固的顶板和底板,可轻松集成到光学设置中。单片柔性铰链设计提供了高精度运动范围、高刚度,并且由于这种出色的动态性能,可实现极快和精确的定位任务。
参数
- Motion Distance: 100um
- Resolution: 0.2nm
应用
- 光纤定位
- 2D扫描系统
- 光束对准
- 半导体
- 微操作
关键指标
- 精确的平行运动
- 高达100μm的运动范围
- 没有机械作用
- 易于与其他压电系统结合
- 用于精确调整的精密销孔
- 高动态范围