R 12/14环形推杆
压电环形致动器由大量接触的陶瓷圆盘组成。与管式作动器相比,环形作动器的刚度更高,膨胀量是管式作动器的两倍。环形作动器有带外壳的(RA系列)和不带外壳的(R系列)。无外壳的执行机构仅在陶瓷顶部和接地板处连接。带外壳的执行机构在钻孔处用螺钉固定。没有外壳的环形致动器只能用于具有额外预载的动态应用中。RA系列的环形致动器可根据要求提供应变仪反馈传感器。
参数
- Motion Distance: 12um
- Resolution: 0.03nm
应用
- 微定位
- 激光束转向
- 原子力显微镜的扫描系统
- 压电泵
- 光纤定位
- 激光调谐
关键指标
- 高达50µm的运动
- 自由内径(9毫米至14毫米)
- 亚纳米分辨率
- 阻挡力高达4000 N
- µs响应时间
- 柔性环氧绝缘