环形推杆R 12/14
压电环形致动器由大量接触的陶瓷环组成。基于他们的设计,他们提供了9毫米或14毫米的自由孔径。这使得它们特别适合集成到激光光束线中。环形执行机构有带外壳的RA系列和不带外壳的R系列。R系列执行机构没有预加载。对于动态应用,必须对这些致动器进行预加载。RA系列执行器由机械弹簧进行内部预加载,使其成为动态应用的理想选择。配备应变计传感器的闭环版本也是可用的。
参数
- Motion Distance: 12um
- Resolution: 0.03nm
应用
- 微定位
- 激光束转向
- 原子力显微镜的扫描系统
- 压电泵
- 光纤定位
- 激光调谐
关键指标
- 运动可达50 mm
- 自由内径(9毫米至14毫米)
- 亚纳米分辨率
- 阻挡力高达4000 N
- 微秒响应时间
- 柔性环氧绝缘