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叠加式执行器,无外壳 N 4/5
德国
PZT多层堆叠型致动器用于工业应用。它们由柔性绝缘材料特别屏蔽,保证在较苛刻的要求下具有较高的动态性能。基于其设计,它们非常适合轻松集成到特定的客户系统中。柔性聚合物涂层材料为PZT致动器提供了各种恶劣环境下的可靠保护。与脆性陶瓷绝缘相比,柔性绝缘的优点是寿命更长。这些PZT多层堆叠型致动器已经在纳米计量、半导体、材料科学和扫描应用领域的大量应用中成功工作了超过15年。
参数
  • Motion Distance: 4um
  • Resolution: 0.008nm
应用
  • 定位应用要求在高负载环境条件下具有高精度、长寿命、永久移动的工业应用
关键指标
  • 无外壳PZT多层堆
  • 无预载
  • 运动高达123μm
  • 高达250N/μm的高刚度
  • 灵活安装
  • 无限分辨率
  • 柔性环氧绝缘,保证使用寿命长