Z-台是一种紧凑的Z直接驱动纳米定位器，具有高速能力。它可以与具有66×66 mm孔径（LF2/LFHS2）的A2轴纳米定位器组合，以获得SPM3或SPM3LR。Z工作台可用于5、10、30或50µm的运动范围。该纳米定位器是我们高速产品线的一部分（提供高功率控制器）。