ZERODUR玻璃陶瓷
ZERODUR®是一种具有极低热膨胀系数的玻璃陶瓷。ZERODUR®较重要的特性是：几乎为零的热膨胀，具有出色的3D均匀性高内部质量良好的加工性能可抛光至非常高的精度可轻松涂覆低氦渗透率无孔良好的化学稳定性
参数
- Application Spectrum: Deep Ultraviolet (DUV), Ultraviolet (UV), Visible (VIS), Infrared (IR), Near Infrared (NIR), Short Wavelength IR (SWIR), Long Wavelength IR (LWIR), Broadband
- Wavelength Range: 1 - 1 nm
应用
- 天文学：30多年来，ZERODUR®一直是地面和轨道望远镜镜面基板的首选材料。ZERODUR®可以大批量生产，质量可再生，因此适用于未来20米至100米级的超大望远镜（ELT）。
- 现代制造技术使结构的重量减轻了65%以上。ZERODUR®是未来X射线望远镜项目中镜壳成型的理想芯轴材料，因为其热膨胀系数具有极好的均匀性。
- 光刻：ZERODUR®用作晶圆步进机和扫描仪中的可移动机械部件，以实现精确和可重复的晶圆定位。ZERODUR®具有几乎为零的热膨胀、出色的均匀性和良好的加工性能，是即将推出的EUV光刻中反射光学器件的理想衬底材料。
- 测量技术：ZERODUR®的极低热膨胀和经过验证的长期尺寸稳定性使其成为测量仪器的理想参考标准。
关键指标
暂无关键指标